Stroj na čistenie oblátok

Stroj na čistenie oblátok

Popis stroja na čistenie oblátok Názov zariadenia: Cartridge Equipment for Plasma Processing Equipment Model: VPC-500T Hmotnosť stroja: cca 350KG Menovitý výkon: 4KW čistiaci stroj na plátky Napájací zdroj: AC-380V / trojfázový päťvodičový Technické údaje: 950mm (W) 1030 mm (D) × 1720 mm (H) Vákuová komora ...

Zaslať požiadavku Chat teraz

Opis čistiaceho stroja na oblátky

Názov zariadenia: zariadenie na spracovanie plazmových kaziet

Model zariadenia: VPC-500T

Hmotnosť stroja: približne 350 kg

Menovitý výkon: 4 KW

stroj na čistenie oblátky napájací zdroj: AC-380V / trojfázový päťvodičový

Špecifikácie: 950 mm (W) × 1030 mm (D) × 1720 mm (H)

Vákuová komora: 480 mm (W) × 450 mm (D) × 400 mm (H) dovážaný hliník

Kapacita: 2 samostatné kazety spracované súčasne

Čas spracovania: iný proces, iný čas spracovania

Výkon plazmového generátora: RF 13.56MH z, nastaviteľná 0-500W

Systém vákuového čerpadla: Mechanické vákuové čerpadlo

Systém merania vákua: odporník Pirani

Pracovný stupeň vákua: 5-60 Pa

Obmedzený tlak vákuového čerpadla: 4,0 × 10-1 Pa

Vákuový čas: ≤100S

Doba prerušenia vákua: 20-60S

Spôsob dodávky plynu: typ elektromagnetického ventilu

Rozsah nastavenia prietokomeru: 0-300Sccm (ml / min)

Rozsah toku plynu: 0-50 Sccm (ml / min)

Systém monitorovania vstupného tlaku: presný hmotnostný prietokomer

Metóda prevádzky: manuálne odobrať a umiestniť obrobok, spustiť automatické ovládanie pomocou kľúča

Použitie čistiaceho stroja:

Pre rôzne spôsoby výroby sa používajú rôzne kombinácie. Používajú sa výlučne na predčistenie Diebond, predčistenie tvárnenia, čistenie povrchu oblátky a iné procesy v oblasti polovodičov.


Spoločnosť čistiaceho stroja:

21.jpg


Balenie čistiaceho stroja:

22.jpg


Hot Tags: čistiace stroje, Čína, výrobcovia, továreň, na mieru, vyrobené v Číne
Súvisiace produkty

Copyright © Kunshan Plaux Electronics Technology Co Ltd Všetky práva vyhradené.